原标题：「盘中宝」强强联合！这家公司与该军工集团旗下公司合作，拟共同研发该核心技术，快速实现国产化替代

　　「盘中宝」强强联合！这家公司与该军工集团旗下公司合作，拟共同研发该核心技术，快速实现国产化替代

　　财联社资讯获悉，华特气体与四川红华实业有限公司签订高纯三氟化氯研发合作协议。双方拟共同研发高纯三氟化氯的核心技术，一举打破国外垄断市场的局面，使高纯三氟化氯快速实现国产化替代。

　　2010年，日本关东化学、中央旭硝子、岩谷产业就已规模化生产出高纯三氟化氯产品，但我国仍少见高纯三氟化氯可用于芯片制程的产业化报道。目前，仍以日本、美国等国家垄断国内的市场。高纯三氟化氯主要用于芯片制程中的蚀刻、硅片和腔体清洗，由于其高氟碳比和较强的氟离子自由基，在先进制程中的应用越来越广泛，特别在14nm以下制程中，是不可替代的新型蚀刻材料。