三氟化氯

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米乐m6官网登录入口·补上中国芯片“关键环” 洛阳这家企业经历20余年创

发布时间:2024-04-19 03:49:08 来源:M6米乐最新下载地址 作者:米乐M6官方网站 | 浏览:26

内容摘要:  立春刚过,在位于孟津的昊华气体有限公司中控室,建成投产的昊华特种含氟电子气体项目,通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车,批量发往国内外半导体、面板龙头企业,标志着项目进入“万吨级”

  立春刚过,在位于孟津的昊华气体有限公司中控室,建成投产的昊华特种含氟电子气体项目,通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车,批量发往国内外半导体、面板龙头企业,标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。

  立春刚过,在位于孟津的昊华气体有限公司中控室,建成投产的昊华特种含氟电子气体项目,通过了最后的验收。一辆辆满载三氟化氮等电子气体的货车,批量发往国内外半导体、面板龙头企业,标志着项目进入“万吨级”规模化生产新阶段。

  “早在1998年,面对国内三氟化氮的产业空白,我们是两手抓,一方面自己探索,一方面接触国外的技术合作方。”时任黎明院三氟化氮研发组长的昊华气体副总经理汪建春回忆道。

  2002年初,引进美国公司技术和关键设备的20吨/年的三氟化氮装置建成。然而让人诧异的是,工艺技术路线畅通,但试车实验产品纯度却只有92%,距离当时99.9%以上的目标相差“十万八千里”。

  “在2004年最冷的时候,我们的员工就住在哈尔滨监督设备加工,一住就是个把月。一出门,脸都冻麻了。”汪建春对当时的艰难记忆犹新。

  关键核心技术要不来、买不来、讨不来,唯有自主创新。项目虽然失败了,却带来全新的认知,成为一种略带苦涩的收获。


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