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米乐m6官网登录入口·2021-2027年我国四氟化碳商场深度调研与出资远景研讨陈述

发布时间:2024-12-23 10:48:25 来源:M6米乐最新下载地址 作者:米乐M6官方网站 | 浏览:55

内容摘要:  博思数据发布的《2021-2027年我国四氟化碳商场深度调研与出资远景研讨陈述》介绍了四氟化碳职业相关概述、我国四氟化碳工业运转环境、剖析了我国四氟化碳职业的现状、我国四氟化碳职业竞赛格式、对我国

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  四氟化碳是现在微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜资料的蚀刻。关于硅和二氧化硅系统,选用CF4-H2反应离子刻蚀时,经过调理两种气体的份额,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

  在电子器件外表清洗、太阳能电池的出产、激光技能、气相绝缘、低温制冷、走漏查验剂、操控宇宙火箭姿势、印刷电路出产中的去污剂等方面也很多运用。因为化学稳定性极强,四氟化碳还可以用于金属锻炼和塑料职业等。


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